广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA真空分子泵

大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来，国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下，干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用，有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此，针对这种情况，涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。

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大阪涡轮（复合）分子泵

用　途■小型实验设备的排气■装载室，搬送式排气■分析?测量仪器的排气■吸附?搬送■的排气■封装排气■电子，离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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大阪真空osakavacuum定期保养方法

1、要经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。确保以真空泵运转时，油位到油标中心为准。

2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，以确保真空泵工作正常。

3、定期检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。并检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。

5、真空泵换油期限按实际使用情况和能否满足性能要求等情况考虑，一般新真空泵，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。

6、一般情况下，真空泵工作2000小时后需要进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，并清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。用清洗整个真空泵腔内的转子、旋片、弹簧等，并烘干，橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时一定要轻拿轻放小心碰伤。

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大阪涡轮分子泵前级配置

日本大阪涡轮分子泵所配置的前级泵抽速，应满足

Sp> Qmax/ pj

式中, Sp——前级泵的抽速，L/s;

pj——涡轮分子泵前级压力，通常为2Pa;

Qmax——大流量，Pa. L/s，涡轮分子泵平稳抽速范围为10-1~10-7 Pa。故大流量Qmax值应等于10-1Pa下的抽速与该压力之积。

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OSAKA 大阪TG220FCAB分子泵检测维修

卧式涡轮分子泵结构的分子泵是双轴流抽气时转子受力均匀，轴承定位、受力状态好，使用寿命长，且轴承更换过程中，转子位置不动，维修方便。

卧式泵有两组涡轮叶片，体积大，外壳形状复杂，因而造价也较高。

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